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扫描电镜和透射电镜的区别

发布:聚束科技(北京)有限公司
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电镜是电子显微镜的简称,英文简称为EM,常用于分子和原子形态,有机复合材料的结构形态研究等,是现代技术不可缺少的重要工具。扫描电镜和透射电镜是电镜中常用的仪器设备,扫描电镜即扫描电子显微镜,英文简称SEM,一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品, 通过光束与物质间的相互作用, 来激发各种物理信息, 对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。透射电镜即透射电子显微镜,英文简称为TEM,把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上,电子与样品中的原子碰撞而改变方向,从而产生立体角散射。散射角的大小与样品的密度、厚度相关,因此可以形成明暗不同的影像,影像将在放大、聚焦后在成像器件上显示出来。

两者作为材料表征上常用的仪器设备,之间有何区别?

扫描电镜和透射电镜的区别

1、扫描电镜(SEM)通常使用15kV以上的加速电压,而透射电镜(TEM)可以将其设置在60-300kV的范围内。

2、扫描电镜的电子束不穿过样品,仅以电子束尽量聚焦在样本的一小块地方,然后一行一行地扫描样本,获得图像为立体图像,反映标本的表面结构,扫描电镜标本无需制成薄片;透射电镜由于电子需要穿过样本,因此样本必须非常薄。

3、一般情况下,透射电镜放大倍数更大,真空要求也更高。

4、扫描电镜(SEM)提供样品表面的3D图像,而透射电镜(TEM)图像是样品的2D投影。

5、透射电镜放大倍数要高于扫描电镜倍数。

6、电子类型不同,扫描电镜的电子类型是散射电子,透射电镜的电子类型是透射电子。

7、扫描电镜的景深要高于透射电镜。

8、扫描电镜样品制备比透射电镜的工序简单。

2021-03-17
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